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KVSFQ-IV SF6氣體質量分析儀
技術指標:
微水檢測部分:
- 測量方式:阻容測量原理(芬蘭維薩拉 DMT 系列傳感器)
- 使用環(huán)境溫度:-20℃~+60℃
- 測量范圍:-80℃~+20℃ (當露點溫度低于 0℃,傳感器輸出為霜點)
- 響應時間 63%[90%] +20→-20℃ Td 5s[45s] -20→-60℃ Td 10s[240s]
- 測量誤差:優(yōu)于±1℃
- 重復性誤差:±0.5℃
- 分辨率:0.01℃ 顯示單位:℃,ppm,℃P20(帶有環(huán)境 20℃的露點換算值)
純度檢測部分:
- 測量方式:紅外測量原理(歐洲傳感器公司 NDIR 系列傳感器)
- 使用環(huán)境溫度:-20℃~+60℃
- 測量范圍:0~100% 響應時間[90%]60s
- 測量誤差:優(yōu)于±0.5%FS
- 重復性誤差:±0.5%
- 分辨率:0.01% 顯示單位:%
- 氣體流量:300~350ml/min
- 流量顯示:0~1000mL
- 進口數字流量計
- 樣氣壓力:≤1MPa
- 環(huán)境濕度:90%RH
- 測量數值影響:壓力與流量無影響
CF4 氣體檢測部分:
- 測量方式:紅外(NDIR)測量原理(德國 Smartgas 公司 NDIR 系列傳感器)
- 使用環(huán)境溫度:-20℃~+60℃
- 測量范圍:0-1000PPmv
- 測量誤差:±5PPmv(FS)
- 重復性誤差:±2PPmv
- 分辨率:0.1PPmv
- 顯示單位:PPmv
Air 空氣檢測部分:
- 測量方式:氧化鋯(德國 itg 公司 NDIR 系列傳感器)
- 使用環(huán)境溫度:-20℃~+60℃
- 測量范圍:0-100%
- 測量誤差:±0.5%(FS)
- 重復性誤差:±0.2%
- 分辨率:0.01%
- 顯示單位:%
- 氣體流量:400~600ml/min
- 流量顯示:0~1000mL
- 進口數字流量計
- 樣氣壓力:≤1MPa
- 環(huán)境濕度:90%RH
- 測量數值影響:壓力與流量無影響
- 電源:交直流兩用(8 小時以上的電池使用時間)、交流時:220V AC ±10% 50Hz
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